 |
|||||||||
 |
2022, том 20, випуск 1 |
|
|||||||
|
|||||||||
Випуски/2022/том 20 /випуск 1 |
В. І. Канєвський, С. О. Колєнов, В. І. Григорук, Ю. В. Прокопенко
«Оптимізація задачі визначення умов ефективного фотохе-мічного субнанополірування шерсткої поверхні кварцу при освітленні з боку кварцу»
0025–0044 (2022)
PACS numbers: 68.35.Ct, 78.20.Ci, 81.16.Rf, 81.65.Cf, 81.65.Ps, 81.70.Fy
Розглянуто розв’язок електродинамічної задачі для визначення оптимальної конфіґурації еванесцентного поля, яке утворюється поблизу шерсткої поверхні кварцу при освітленні з боку кварцу, що забезпечує ефективне фотохемічне полірування цієї поверхні до субнанометрового рівня шерсткости. Встановлено, що для профілю поверхні кварцу, який має форму трикутніх виступів і западин, які періодично повторюються, оптимальні умови фотохемічного полірування досягаються, коли кут падіння світла дорівнює критичному, а висота виступів поверхні є незначною (до 20 нм). Також показано, за якими критеріями реґулярний профіль у вигляді виступів і западин трикутньої форми може бути використаний як еквівалентний за визначення оптимальних параметрів поля для випадкового профілю поверхні, що характеризується Ґауссовою кореляційною функцією.
Keywords: поверхневий плазмонний резонанс, розсіяння пласких електромагнетних хвиль, векторне Гельмгольцове рівняння, фотохемічне полірування, еванесцентне поле, цілковите внутрішнє відбивання.
References
1. I. Ali, S. R. Roy, and G. Shinn, Solid State Technology, 37, No. 10: 63 (1994).2. L. F. Johnson and K. A. Ingersoll, Appl. Opt., 22: 1165 (1983); https://doi.org/10.1364/AO.22.001165
3. W. Nomura, T. Yatsui, and M. Ohtsu, Progress in Nano-Electro-Optics VII. Springer Series in Optical Sciences, 155: 113 (2010); https://doi.org/10.1007/978-3-642-03951-5_4
4. T. Yatsui et al., phys. status solidi (a), 211, No. 10: 2339 (2014); https://doi.org/10.1002/pssa.201431161
5. W. C. Chew and W. C. Weedon, Microwave Opt. Tech. Lett., 7: 599 (1994); https://doi.org/10.1002/mop.4650071304
6. Z. S. Sacks et al., IEEE Transactions on Antennas and Propaga-tion, 12, No. 43: 1460 (1995); https://doi.org/10.1109/8.477075
7. H. Raether, Surface Plasmons on Smooth and Rough Surfaces and on Gratings (Berlin: Springer: 1988); https://doi.org/10.1007/BFb0048317
8. M. Born and E. Wolf, Principles of Optics (New York: Pergamon: 1999).
9. J. Jin, The Finite Element Method in Electromagnetics (New York: Wiley: 2002).
10. J. L. Volakis, A. Chatterjee, and L. C. Kempel, Finite Element Method for Electromagnetics (New York: Wiley-IEEE Press: 1998); https://doi.org/10.1109/9780470544655
11. P. W. Johnson and R. W. Christy, Phys. Rev. B, 6, No. 12: 4370 (1972); https://doi.org/10.1103/PhysRevB.6.4370
12. L. Novotny and B. Hecht, Osnovy Nanooptiki [Principles of Nano-Optics] (Moscow: Fizmatlit: 2011) (Russian translation).
13. M. Quinten, Optical Properties of Nanoparticle Systems: Mie and Beyond (Weinheim: Willey–VCH Verlag&Co. KGaA: 2011).
14. V. I. Grygoruk, V. I. Kanevskii, and S. O. Kolienov, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 42, No. 1: 105 (2020) (in Ukrainian); doi:10.15407/mfint.42.01.0105.
 Усі статті ліцензовано на умовах Ліцензії Creative Commons із зазначенням авторства — без похідних 4.0 Міжнародна ©2003—2022 НАНОСИСТЕМЫ, НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии наук Украины. Електрона пошта: tatar@imp.kiev.ua Телефони та адреса редакції Про збірник Угода користувача |