 |
|||||||||
 |
2020, том 18, выпуск 2 |
|
|||||||
|
|||||||||
Выпуски/2020/том 18 /выпуск 2 |
A. M. Gabovich, O. Yo. Gudymenko, V. P. Kladko, P. M. Lytvyn, Iu. M. Nasieka, B. M. Romaniuk, V. F. Semeniuk, N. I. Semeniuk, V. V. Strelchuk, V. I. Styopkin, V. M. Tkach
«Nanosized Structure Formation by Trampoline Ion-Plasma Sputtering»
357–372 (2020)
PACS numbers: 61.05.cp, 68.37.-d, 68.49.Sf, 68.55.jm, 78.30.-j, 81.15.Cd, 81.15.Gh
Вивчається ефект колективного батутного йонно-плазмового розпорошення на поверхневі властивості металів, ізоляторів і напівпровідників. Досліджується структура поверхні, склад і структура плівок, одержаних батутним розпорошенням різних цілей (металів, кераміки, кремнію та вуглецю). Визначаються основні параметри процесів текстурування та формування високоадгезійних покриттів. Як було встановлено, одержана наномасштабна структура поверхні забезпечує екстремальну адгезію вироблених плівок. Крім того, висока швидкість осадження плівки під час йонно-плазмового обробляння поверхні створює такі субмікронні структури, що одержані щільні плівки містять мало дефектів.
Keywords: trampoline sputtering, nanoscale structure, ultrahigh adhesion, nanoclusters
References
1. P. M. Martin, Handbook of Deposition Techniques for Films and Coatings.
Science, Application, and Technology (Oxford: Elsevier: 2009).
2. R. Lu, J. Z. Wu, C. Varanasi, J. Burke, I. Maartense, and P. N. Barnes, J. Electronic Mater., 36: 1258 (2019); https://doi.org/10.1007/s11664-007- 0196-3.
3. The Fundamental and Applied Aspects of Solids Sputtering (Ed. E. S. Mashkova) (Moscow: Mir: 1989) (Russian translation).
4. A. M. Gabovich, V. F. Semeniuk, and N. I. Semeniuk, J. Phys. D: Appl. Phys., 52: 185201 (2019); https://doi.org/10.1088/1361-6463/ab05a1.
5. H. Hartmann, V. N. Popok, I. Barke, V. von Oeynhausen, and K.-H. MeiwesBroer, Rev. Sci. Instrum., 83, Iss. 7: 073304 (2012); https://doi.org/10.1063/1.4732821.
6. T. Minato and T. Abe, Prog. Surf. Sci., 92, Iss. 4: 240 (2017); https://doi.org/10.1016/j.progsurf.2017.10.001.
7. Nanotechnology for Lithium-Ion Batteries (Eds. Y. Abu-Lebdeh and I. Davidson) (New York: Springer: 2013).
8. Advances in Lithium-Ion Batteries (Eds. W. A. van Schalkwijk and B. Scrosati) (New York: Kluwer Academic: 2002).
9. C. Mikolajczak, M. Kahn, K. White, and R. T. Long, Lithium-Ion Batteries Hazard and Use Assessment (New York: Springer: 2011).
 Усі статті ліцензовано на умовах Ліцензії Creative Commons із зазначенням авторства — без похідних 4.0 Міжнародна ©2003—2021 НАНОСИСТЕМЫ, НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии наук Украины. Електрона пошта: tatar@imp.kiev.ua Телефони та адреса редакції Про збірник Угода користувача |