 |
|||||||||
 |
2020, том 18, выпуск 2 |
|
|||||||
|
|||||||||
Выпуски/2020/том 18 /выпуск 2 |
A. M. Gabovich, O. Yo. Gudymenko, V. P. Kladko, P. M. Lytvyn, Iu. M. Nasieka, B. M. Romaniuk, V. F. Semeniuk, N. I. Semeniuk, V. V. Strelchuk, V. I. Styopkin, V. M. Tkach
«Nanosized Structure Formation by Trampoline Ion-Plasma Sputtering»
357–372 (2020)
PACS numbers: 61.05.cp, 68.37.-d, 68.49.Sf, 68.55.jm, 78.30.-j, 81.15.Cd, 81.15.Gh
Изучено влияние коллективного батутного ионно-плазменного распыления на поверхностные свойства металлов, изоляторов и полупроводников. Исследована структура поверхности, состав и структура плёнок, полученных методом батутного распыления различных мишеней (металлов, керамики, кремния и углерода). Определены основные параметры процессов текстурирования и формирования высокоадгезионных покрытий. Как установлено, полученная наномасштабная структура поверхности обеспечивает экстремальную адгезию полученных плёнок. Кроме того, высокая скорость осаждения плёнки при ионно-плазменной обработке поверхности создаёт такие субмикронные структуры, что полученные плотные плёнки содержат мало дефектов.
Keywords: trampoline sputtering, nanoscale structure, ultrahigh adhesion, nanoclusters
References
1. P. M. Martin, Handbook of Deposition Techniques for Films and Coatings.
Science, Application, and Technology (Oxford: Elsevier: 2009).
2. R. Lu, J. Z. Wu, C. Varanasi, J. Burke, I. Maartense, and P. N. Barnes, J. Electronic Mater., 36: 1258 (2019); https://doi.org/10.1007/s11664-007- 0196-3.
3. The Fundamental and Applied Aspects of Solids Sputtering (Ed. E. S. Mashkova) (Moscow: Mir: 1989) (Russian translation).
4. A. M. Gabovich, V. F. Semeniuk, and N. I. Semeniuk, J. Phys. D: Appl. Phys., 52: 185201 (2019); https://doi.org/10.1088/1361-6463/ab05a1.
5. H. Hartmann, V. N. Popok, I. Barke, V. von Oeynhausen, and K.-H. MeiwesBroer, Rev. Sci. Instrum., 83, Iss. 7: 073304 (2012); https://doi.org/10.1063/1.4732821.
6. T. Minato and T. Abe, Prog. Surf. Sci., 92, Iss. 4: 240 (2017); https://doi.org/10.1016/j.progsurf.2017.10.001.
7. Nanotechnology for Lithium-Ion Batteries (Eds. Y. Abu-Lebdeh and I. Davidson) (New York: Springer: 2013).
8. Advances in Lithium-Ion Batteries (Eds. W. A. van Schalkwijk and B. Scrosati) (New York: Kluwer Academic: 2002).
9. C. Mikolajczak, M. Kahn, K. White, and R. T. Long, Lithium-Ion Batteries Hazard and Use Assessment (New York: Springer: 2011).
 Все статьи доступны по Лицензии Creative Commons “Attribution-NoDerivatives” («атрибуция — без производных статей») 4.0 Всемирная ©2003—2021 НАНОСИСТЕМЫ, НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии наук Украины. Электронная почта: tatar@imp.kiev.ua Телефоны и адрес редакции О сборнике Пользовательское соглашение |