|
||||||||||||||||||||||||
Завантажити повну версію статті (в PDF форматі)
O. M. Bordun, I. O. Bordun, I. M. Kofliuk, I. Yo. Kukharskyy, I. I. Medvid, Zh. Ya. Tsapovska, D. S. Leonov Методою високочастотного (ВЧ) йонно-плазмового розпорошення в атмосфері арґону та дискретного випаровування у вакуумі одержано тонкі плівки Y\(_2\)O\(_3\):Eu. Дослідження морфологій поверхні тонких плівок методою атомно-силової мікроскопії (АСМ) показало, що при переході від ВЧ-розпорошення до дискретного випаровування зростає середня квадратична шерсткість поверхні за близьких величин діяметрів нанокристалічних зерен на поверхні плівок. Встановлено, що розподіл зерен за діяметром при ВЧ-розпорошенні відповідає нормальному логаритмічному розподілу з одним центром розподілу, а при дискретному випаровуванні — з двома центрами розподілу. Співвідношення центрів розподілу вказує на зрощування зерен між собою. Keywords: yttrium oxide, thin films, nanocrystallite
References
1. K. M. Nissamudeen and K. G. Gopchandran, J. Alloys and Compounds, 490:
399 (2010). |
||||||||||||||||||||||||
|