|
||||||||||||||||||||||||
Скачать полную версию статьи (в PDF формате)
O. M. Bordun, I. O. Bordun, I. M. Kofliuk, I. Yo. Kukharskyy, I. I. Medvid, Zh. Ya. Tsapovska, D. S. Leonov Методом высокочастотного (ВЧ) ионно-плазменного распыления в атмосфере аргона и дискретного испарения в вакууме получены тонкие плёнки Y\(_2\)O\(_3\):Eu. Исследование морфологи поверхности тонких плёнок методом атомно-силовой микроскопии (АСМ) показало, что при переходе от ВЧ-распыления к дискретному испарению возрастает средняя квадратическая шероховатость поверхности при близких величинах диаметров нанокристаллических зёрен на поверхности плёнок. Установлено, что распределение зёрен по диаметру при ВЧ-распылении соответствует нормальному логарифмическому распределению с одним центром распределения, а при дискретном испарении — с двумя центрами распределения. Соотношение центров распределения указывает на срастание зёрен между собой. Keywords: yttrium oxide, thin films, nanocrystallite
References
1. K. M. Nissamudeen and K. G. Gopchandran, J. Alloys and Compounds, 490:
399 (2010). |
||||||||||||||||||||||||
|