Завантажити повну версію статті (в PDF форматі)

O. M. Bordun, I. O. Bordun, I. M. Kofliuk, I. Yo. Kukharskyy, I. I. Medvid, О. Ya. Mylyo, D. S. Leonov
«Synthesis and Structure of \(Y_2O_3\):Eu Thin Films»
0711–0716 (2019)

PACS numbers: 61.05.cf, 61.05.cp, 61.72.Mm, 68.55. J-, 81.07.Wx, 81.15.Cd

Методом високочастотного (ВЧ) йонно-плазмового розпорошення в різних атмосферах одержано тонкі плівки \(Y_2O_3\):Eu. На основі рентґенофазової аналізи досліджено фазовий склад одержаних плівок і розглянуто різні причини розширення дифракційних смуг. Показано, що збільшення у розпорошувальній атмосфері Ar вмісту \(O_2\) приводить до зменшення розмірів нанокристалітів, які формують плівку \(Y_2O_3\):Eu, від 5,9 до 5,0 нм і зменшення структурної досконалости плівок та збільшення в них механічних напружень.

Keywords: yttrium oxide, thin films, nanocrystallite