|
||||||||||||||||||||||||
Скачать полную версию статьи (в PDF формате)
O. M. Bordun, I. O. Bordun, I. M. Kofliuk, I. Yo. Kukharskyy, I. I. Medvid, О. Ya. Mylyo, D. S. Leonov Методом высокочастотного (ВЧ) ионно-плазменного распыления в различных атмосферах получены тонкие плёнки \(Y_2O_3\):Eu. На основе рентгенофазового анализа исследован фазовый состав полученных плёнок и рассмотрены различные причины уширения дифракционных полос. Показано, что увеличение в распылительной атмосфере Ar содержания \(O_2\) приводит к уменьшению размеров нанокристаллитов, формирующих плёнку \(Y_2O_3\):Eu, от 5,9 до 5,0 нм, уменьшению структурного совершенства плёнок и увеличению в них механических напряжений. Keywords: yttrium oxide, thin films, nanocrystallite
References
will be published soon
|
||||||||||||||||||||||||
|