Выпуски

 / 

2019

 / 

том 17 / 

выпуск 4

 



Завантажити повну версію статті (в PDF форматі)

V. I. Grygoruk, V. I. Kanevskyi, S. O. Kolienov
«Analytical Calculation of Conditions for Submicronic Etching of a Flat Surface of Quartz»
0637–0648 (2019)

PACS numbers: 41.20.Jb, 42.25.Bs, 42.25.Gy, 78.20.Bh, 78.68.+m, 81.16.Rf, 81.65.Cf

Описано аналітичний модель розрахунку електромагнетного поля на пласкій поверхні кварцу вздовж межі поділу «кварц–вакуум». Показано та проаналізовано розподіл густини енергії поля при освітленні такої поверхні з боку кварцу, коли кут падіння світла дорівнює критичному куту. При цьому одержано наступні результати: (а) зі зміною фази падної хвилі її максимальне значення (гребінь) дрейфує уздовж пласкої межі поділу «кварц–вакуум», створюючи оптимальні умови для субмікронного щавлення; (б) перенесення енергії відбувається переважно тільки уздовж межі; (в) відбита хвиля частково заходить у вакуум, затухаючи експоненційно при віддаленні від межі поділу; (г) при збільшенні кута падіння падної хвилі активна та реактивна складові Пойнтинґового вектора в області еванесцентного поля зменшуються, що погіршує умови для субмікронного щавлення даної поверхні.

Keywords: surface plasmon resonance, scattering of plane electromagnetic waves, vector Helmholtz equation


References
will be published soon
Creative Commons License
Усі статті ліцензовано на умовах Ліцензії Creative Commons із зазначенням авторства — без похідних 4.0 Міжнародна
© НАНОСИСТЕМИ, НАНОМАТЕРІАЛИ, НАНОТЕХНОЛОГІЇ Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України, 2019

Електрона пошта: tatar@imp.kiev.ua Телефони та адреса редакції Про збірник Угода користувача