Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

V. I. Grygoruk, V. I. Kanevskyi, S. O. Kolienov
«Analytical Calculation of Conditions for Submicronic Etching of a Flat Surface of Quartz»
0637–0648 (2019)

PACS numbers: 41.20.Jb, 42.25.Bs, 42.25.Gy, 78.20.Bh, 78.68.+m, 81.16.Rf, 81.65.Cf

Описана аналитическая модель расчёта электромагнитного поля на плоской поверхности кварца вдоль границы раздела «кварц–вакуум». Показано и проанализировано распределение плотности энергии поля при освещении такой поверхности со стороны кварца, когда угол падения света равен критическому углу. При этом получены следующие результаты: (а) с изменением фазы падающей волны её максимальное значение (гребень) дрейфует вдоль плоской границы раздела «кварц–вакуум», создавая оптимальные условия для субмикронного травления; (б) перенос энергии происходит преимущественно только вдоль границы; (в) отражённая волна частично заходит в вакуум, затухая по экспоненте при отдалении от границы раздела; (г) при увеличении угла падения падающей волны активная и реактивная составляющие вектора Пойнтинга в области эванесцентного поля уменьшаются, что ухудшает условия для субмикронного травления данной поверхности.

Keywords: surface plasmon resonance, scattering of plane electromagnetic waves, vector Helmholtz equation