Завантажити повну версію статті (в PDF форматі)
O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. J. Kukharskyy, I. I. Medvid, O. Ya. Mylyo, M. V. Partyka, and D. S. Leonov
«Influence of Fabrication Conditions on Structure and Morphology of a Surface of Thin \(\beta-Ga_2O_3\) and \((Y_{0.06}Ga{0.94})_2O_3\) Films»
0123–0131 (2019)
PACS numbers: 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.Ff, 68.37.Ps, 68.55.J-, 68.55.Nq, 81.15.Cd
Досліджено структуру, фазовий склад і морфологію поверхні тонких плівок \(\beta-Ga_2O_3\) та (Y0,06Ga0,94)2O3, одержаних методою високочастотного йонно-плазмового розпорошення у різних атмосферах термооброблення. Показано, що процеси спікання та росту кристалітів істотніше проявляються у плівках (Y0,06Ga0,94)2O3, порівняно з плівками \(\beta-Ga_2O_3\).
Keywords: gallium oxide, thin films, crystallite
References
1. C. Jin, S. Park, H. Kim, and C. Lee, Sensors and Actuators B, 161, No. 1: 223 (2012). https://doi.org/10.1016/j.snb.2011.10.023
2. K. H. Choi and H. C. Kang, Materials Letters, 123: 160 (2014). https://doi.org/10.1016/j.matlet.2014.03.038
3. J.-T. Yan and C.-T. Lee, Sensors and Actuators B, 143, No. 1: 192 (2009). https://doi.org/10.1016/j.snb.2009.08.040
4. L. Kong, J. Ma, C. Luan, W. Mi, and Yu Lv, Thin Solid Films, 520, No. 13: 4270 (2012). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2012.02.027
5. K. Shimamura, E. G. Villora, T. Ujiie, and K. Aoki, Appl. Phys. Lett., 92, No. 20: 201914 (2008). https://doi.org/10.1063/1.2910768
6. C. Shang, X. Shang, Y. Qu, and M. Li, Chem. Phys. Lett., 501, Nos. 4-6: 480 (2010). https://doi.org/10.1016/j.cplett.2010.11.085
7. P. Packiyaraj and P. Thangadurai, J. Lumin., 145: 997 (2014). https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2013.07.074
8. O. M. Bordun, I. M. Bordun, and S. S. Novosad, J. Appl. Spectosc., 62, No. 6: 1060 (1995).
9. A. Yousif, H. C. Swart, and O. M. Ntwaeaborwa, Appl. Surf. Sci., 258, No. 17: 6495 (2012). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2012.03.066
10. V. F. Popova, A. G. Petrosyan, E. A. Tugova, D. P. Romanov, and V. V. Gusarov, Russian J. Inorganic Chem., 54, No. 4: 624 (2009). https://doi.org/10.1134/S0036023609040202
|