Выпуски

 / 

2019

 / 

том 17 / 

выпуск 1

 



Завантажити повну версію статті (в PDF форматі)

O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. J. Kukharskyy, I. I. Medvid, O. Ya. Mylyo, M. V. Partyka, and D. S. Leonov
«Influence of Fabrication Conditions on Structure and Morphology of a Surface of Thin \(\beta-Ga_2O_3\) and \((Y_{0.06}Ga{0.94})_2O_3\) Films»
0123–0131 (2019)

PACS numbers: 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.Ff, 68.37.Ps, 68.55.J-, 68.55.Nq, 81.15.Cd

Досліджено структуру, фазовий склад і морфологію поверхні тонких плівок \(\beta-Ga_2O_3\) та (Y0,06Ga0,94)2O3, одержаних методою високочастотного йонно-плазмового розпорошення у різних атмосферах термооброблення. Показано, що процеси спікання та росту кристалітів істотніше проявляються у плівках (Y0,06Ga0,94)2O3, порівняно з плівками \(\beta-Ga_2O_3\).

Keywords: gallium oxide, thin films, crystallite


References
1. C. Jin, S. Park, H. Kim, and C. Lee, Sensors and Actuators B, 161, No. 1: 223 (2012). https://doi.org/10.1016/j.snb.2011.10.023
2. K. H. Choi and H. C. Kang, Materials Letters, 123: 160 (2014). https://doi.org/10.1016/j.matlet.2014.03.038
3. J.-T. Yan and C.-T. Lee, Sensors and Actuators B, 143, No. 1: 192 (2009). https://doi.org/10.1016/j.snb.2009.08.040
4. L. Kong, J. Ma, C. Luan, W. Mi, and Yu Lv, Thin Solid Films, 520, No. 13: 4270 (2012). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2012.02.027
5. K. Shimamura, E. G. Villora, T. Ujiie, and K. Aoki, Appl. Phys. Lett., 92, No. 20: 201914 (2008). https://doi.org/10.1063/1.2910768
6. C. Shang, X. Shang, Y. Qu, and M. Li, Chem. Phys. Lett., 501, Nos. 4-6: 480 (2010). https://doi.org/10.1016/j.cplett.2010.11.085
7. P. Packiyaraj and P. Thangadurai, J. Lumin., 145: 997 (2014). https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2013.07.074
8. O. M. Bordun, I. M. Bordun, and S. S. Novosad, J. Appl. Spectosc., 62, No. 6: 1060 (1995).
9. A. Yousif, H. C. Swart, and O. M. Ntwaeaborwa, Appl. Surf. Sci., 258, No. 17: 6495 (2012). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2012.03.066
10. V. F. Popova, A. G. Petrosyan, E. A. Tugova, D. P. Romanov, and V. V. Gusarov, Russian J. Inorganic Chem., 54, No. 4: 624 (2009). https://doi.org/10.1134/S0036023609040202
Creative Commons License
Усі статті ліцензовано на умовах Ліцензії Creative Commons із зазначенням авторства — без похідних 4.0 Міжнародна
©2003—2019 НАНОСИСТЕМЫ, НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии наук Украины.

Електрона пошта: tatar@imp.kiev.ua Телефони та адреса редакції Про збірник Угода користувача