 |
|||||||||
 |
2019, том 17, выпуск 1 |
|
|||||||
|
|||||||||
Выпуски/2019/том 17 /выпуск 1 |
O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. J. Kukharskyy, I. I. Medvid, O. Ya. Mylyo, M. V. Partyka, and D. S. Leonov
«Influence of Fabrication Conditions on Structure and Morphology of a Surface of Thin \(\beta-Ga_2O_3\) and \((Y_{0.06}Ga{0.94})_2O_3\) Films»
0123–0131 (2019)
PACS numbers: 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.Ff, 68.37.Ps, 68.55.J-, 68.55.Nq, 81.15.Cd
Исследована структура, фазовый состав и морфология поверхности тонких плёнок \(\beta-Ga_2O_3\) и (Y0,06Ga0,94)2O3, полученных методом высокочастотного ионно-плазменного распыления в различных атмосферах термообработки. Показано, что процессы спекания и роста кристаллитов более существенно проявляются в плёнках (Y0,06Ga0,94)2O3 по сравнению с плёнками \(\beta-Ga_2O_3\).
Keywords: gallium oxide, thin films, crystallite
References
1. C. Jin, S. Park, H. Kim, and C. Lee, Sensors and Actuators B, 161, No. 1: 223 (2012). https://doi.org/10.1016/j.snb.2011.10.0232. K. H. Choi and H. C. Kang, Materials Letters, 123: 160 (2014). https://doi.org/10.1016/j.matlet.2014.03.038
3. J.-T. Yan and C.-T. Lee, Sensors and Actuators B, 143, No. 1: 192 (2009). https://doi.org/10.1016/j.snb.2009.08.040
4. L. Kong, J. Ma, C. Luan, W. Mi, and Yu Lv, Thin Solid Films, 520, No. 13: 4270 (2012). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2012.02.027
5. K. Shimamura, E. G. Villora, T. Ujiie, and K. Aoki, Appl. Phys. Lett., 92, No. 20: 201914 (2008). https://doi.org/10.1063/1.2910768
6. C. Shang, X. Shang, Y. Qu, and M. Li, Chem. Phys. Lett., 501, Nos. 4-6: 480 (2010). https://doi.org/10.1016/j.cplett.2010.11.085
7. P. Packiyaraj and P. Thangadurai, J. Lumin., 145: 997 (2014). https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2013.07.074
8. O. M. Bordun, I. M. Bordun, and S. S. Novosad, J. Appl. Spectosc., 62, No. 6: 1060 (1995).
9. A. Yousif, H. C. Swart, and O. M. Ntwaeaborwa, Appl. Surf. Sci., 258, No. 17: 6495 (2012). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2012.03.066
10. V. F. Popova, A. G. Petrosyan, E. A. Tugova, D. P. Romanov, and V. V. Gusarov, Russian J. Inorganic Chem., 54, No. 4: 624 (2009). https://doi.org/10.1134/S0036023609040202
 Все статьи доступны по Лицензии Creative Commons “Attribution-NoDerivatives” («атрибуция — без производных статей») 4.0 Всемирная ©2003—2021 НАНОСИСТЕМЫ, НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии наук Украины. Электронная почта: tatar@imp.kiev.ua Телефоны и адрес редакции О сборнике Пользовательское соглашение |