Скачать полную версию статьи (в PDF формате)
G. P. Malanych and V. M. Tomashyk
«Influence of the Viscosity Modifier in H2O2–HBr–Ethylene Glycol Solutions on the Chemical Etching of PbTe Single Crystals and Pb1?xSnxTe Solid Solutions»
0637–0647 (2017)
PACS numbers: 68.35.Ct, 68.37.Ps, 68.55.J-, 77.84.Bw, 81.05.Hd, 81.65.Cf, 81.65.Ps
Роботу присвячено дослідженню взаємодії монокристалічних пластин PbTe і твердих розчинів Pb1?xSnxTe з бромвиділювальними щавниками (H2O2–HBr–етиленгліколь)/етиленгліколь (ЕГ), розробці й оптимізації щавильних композицій і методик оброблення для формування високоякісної поверхні. Вивчено залежності швидкостей хіміко-механічного (ХМП) і хіміко-динамічного (ХДП) полірування від розведення базового полірувального щавника органічним компонентом. Встановлено характер розчинення досліджуваних матеріялів у розчинах (H2O2–HBr–ЕГ)/ЕГ та побудовано графічні залежності «склад щавника–швидкість щавлення» з визначенням ділянок полірувальних і неполірувальних розчинів. Показано, що збільшення вмісту ЕГ в складі щавильної суміші зменшує швидкість щавлення (ХМП) напівпровідникових підкладинок PbTe і твердих розчинів Pb1?xSnxTe від 185,0 до 23,0 мкм/хв та поліпшує полірувальні властивості щавильних композицій H2O2–HBr–ЕГ. Мінімальні значення швидкостей щавлення досягаються при максимальній насиченості суміші органічним компонентом (60 об.%). Мікроструктурною і профілографічною аналізами встановлено вплив кількісного і якісного складу щавників, а також способів хімічного оброблення на параметри шерсткости поверхонь PbTe і твердих розчинів Pb1?xSnxTe. Встановлено, що ХМП монокристалічних напівпровідників розчинами складу H2O2–HBr–ЕГ сприяє зменшенню структурних порушень підкладинок та одержанню якісної полірованої поверхні. Оптимізовано склади полірувальних щавильних композицій (H2O2–HBr–ЕГ)/ЕГ і технологічні режими ХМП та ХДП для видалення порушеного шару, контрольованого стоншування пластин до заданих розмірів, зняття тонких плівок і фінішного полірування поверхні монокристалічних зразків PbTe і твердих розчинів Pb1?xSnxTe.
|
