Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

В. А. Артемюк, Л. І. Карбівська, Л. П. Клюєнко, В. Л. Карбівський
«Синтеза та властивості моно- та багатошарових плівок Ni при їх термічному одержанні»
0375–0385 (2016)

PACS numbers: 68.37.Ef, 68.35.B-, 68.35.Ct, 68.55.jd, 81.15.Ef, 81.16.Dn, 81.16.Rf

Досліджено механізм формування нанорельєфу ніклю на поверхні Si(111) при термічному випаровуванні його у вакуумі. Картину нанорельєфу поверхні після нанесення було досліджено на кожній стадії трансформації. Встановлено, що наноутворення мають близьку до сферичної форму і утворюють кластери, які складаються приблизно з 5–10 наночастинок ніклю. Одержані в роботі моношарові структури ніклю задовільно описуються в рамках моделю електронного вирощування. Встановлено параметри субшерсткости Ra, Rq, Rzjis, Rz, Sratio для трансформованих поверхонь та їхні залежності від технологічних параметрів нанесення. Показано, що має місце зростання розміру кластерів при загальному збереженні тенденції зростання максимальної ріжниці між виступами та западинами по десятьох точках для двох останніх нанесень, оскільки при напорошенні протягом 1 с має місце тільки часткове осадження ніклю на монокристал кремнію. Встановлено сильну взаємодію моношарових покриттів Ni з підложжям. Після значного прогріву поверхні спостерігається майже повна десорбція ніклю та утворення незначної кількости проміжної фази NiSi2.