Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Л. С. Осипов, Д. Ю. Полоцкий, С. А. Беспалов, М. С. Сницар, В. И. Невмержицкий
«Ионно-плазменное нанесение наноструктурированных многокомпонентных покрытий на термолабильные материалы»
0073–0080 (2014)

PACS numbers: 52.80.Pi, 68.35.Ct, 68.37.Ef, 68.37.Ps, 81.15.Gh, 82.80.Ms, 85.40.Sz

Досліджено склад і структуру багатокомпонентних плівок, сформованих за допомогою вакуумно-дугового джерела з локалізацією розряду поблизу робочої поверхні катоду, виготовленого зі стандартних стопів. При нанесенні у прямому потоці в плівках зберігається табличний склад, густина, електропровідність та інші фізико-технічні характеристики матеріалу катоду.