|
||||||||||||||||||||||||
Скачать полную версию статьи (в PDF формате)
Н. И. Ходаковский, С. Ю. Ларкин, Г. Г. Галстян* У роботі досліджено зондові методи побудови наноелектронних приладів та їх діягностики з використанням електростатичної силової мікроскопії. Розглянуто шляхи підвищення інформатив-ности мірянь розподілів зарядів і потенціялів у процесі одер-жання елементів наноструктур. |
||||||||||||||||||||||||
|