Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Д. В. Соловей, Г. Г. Горох, В. Н. Сахарук
«Полевые эмиссионные катоды на основе пористого анодного оксида алюминия и углеродных нанотрубок.»
0143–0156 (2011)

PACS numbers: 85.45.Db, 82.45.Cc, 85.35.Kt, 85.45.Fd, 68.65.Pq

Розроблено технологічний процес формування масивів польових емісійних катод із заданими діяметрами й кроком розташування на основі пористих матриць анодного оксиду алюмінію і вуглеце-вих нанорурок. Форма польових емісійних катод задавалася за допомогою фотолітографії, виконаної по поверхні анодного оксиду алюмінію, й являла собою набір колон циліндричної форми з діяметрами від 10 до 50 мкм, розташованих з кроком 100 і 160 мкм, які мали висоту 2 мкм. При синтезі вуглецеві нанорурки ро-зташовувалися у порах і на поверхні областей з оксиду алюмінію; при цьому нанорурки, що знаходилися на поверхні пористого оксиду, мали багатостінну структуру, а нанорурки, розташовані безпосередньо у порах, використовували для свого утворення елементи, що входили до складу оксиду, ймовірно, з одержанням карбідних сполук. Дослідження автоемісійних властивостей показали, що емісія електронів з одержаних структур є рівномірною по поверхні масивів, відбувається у відповідності до теорії Фаулера–Нордгейма, а розроблена конструкція уможливлює повністю усунути ефект екранування, спричиненого близьким розташуванням нанорурок, синтезованих у пористій матриці оксиду алюмінію.