Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Є. Л. Жавжаров
«Модифікація тонких металевих плівок Ag, Cu, Ni під дією атомарного водню »
0553–0566 (2010)

PACS numbers: 68.35.Np, 68.37.Hk, 68.55.-a, 68.60.Bs, 73.30.+y, 73.61.At, 81.15.-z

Досліджено вплив атомарного водню на параметри тонких метале-вих плівок Ag, Cu, Ni (15–200 нм), нанесених термічним випаро-вуванням на діелектричні підложжя. Оброблення виконувалося за температур 300–310 К, тиску ??20 Па і концентрації атомарного водню 1017–1019 м?3. Виявлено і досліджено кінетику зміни морфо-логії поверхні, роботи виходу та електропровідности тонких металевих плівок. Представлено фізичне обґрунтування спосте-режуваним явищам, визначено фактори, що впливають на характер та кінетику зміни електрофізичних параметрів тонких плівок.