Скачать полную версию статьи (в PDF формате)
Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, А. В. Бородчук, Я. А. Пастирський
«Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au
»
0529–0533 (2009)
PACS numbers: 61.46.Bc, 68.55.A-, 68.55.J-, 81.10.Jt, 81.15.Ef, 81.15.Np
Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та золота. Виявлено можливість керованого росту та виготовлення тонких плівок металів з наперед заданими властивостями.
|