Випуски

 / 

2009

 / 

том 7 / 

випуск 2

 



Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

О. И. Барчук, К. С. Биленко, А. А. Голобородько, В. Н. Курашов, Е. А. Оберемок, С. Н. Савенков
«Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света »
0421–0431 (2009)

PACS numbers: 07.60.Hv, 42.25.Gy, 68.35.bg, 68.55.J-, 68.65.Ac, 78.67.Pt, 81.70.Fy

Розглянуто оптичні характеристики складних багатошарових систем на основі кремнію. Досліджено вплив структури полікристалічних плівок з нанорозмірними особливостями на характер кутових залежностей коефіцієнтів відбивання Rp и Rs. Показано, що для інтерпретації одержаних експериментальних даних в багатьох випадках доцільно використовувати модель багаторазового розсіяння для шаруватих структур. При розрахунках необхідно враховувати вбирання в таких середовищах і усереднення за апертурою фотодетектора. Комп’ютерне моделювання показало, що наявність на підложжі шару окису якісно змінює характер залежностей для коефіцієнтів відбивання. Наявність додаткових екстремумів у вищезазначених залежностях пов’язано з існуванням інтерферівних хвиль, що відбилися від межі з різними показниками заломлення для системи повітря–полікристалічна плівка–окис–підложжя.

©2003—2019 наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова Національної академії наук України.
Електрона пошта: tatar@imp.kiev.ua Телефони та адреса редакції про збірник Угода користувача