Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Т. Ю. Білик, О. М. Шмирєва, М. М. Мельниченко
«Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію »
0395–0402 (2009)

PACS numbers: 78.55.Mb, 78.67.Rb, 81.07.Bc, 81.40.Tv, 81.65.Cf, 85.60.Dw, 85.60.Gz

При формуванні наноструктурованого кремнію на підложжях монокристалічного кремнію відбувається зміна не тільки структурних властивостей, що призводить до зміни ширини забороненої зони і прояву квантово-розмірних ефектів, але й утворення на поверхні нових сполук кремнію з підвищеним вмістом водню й аморфного кремнію. Така складна структура обумовлює прояв нових електрофізичних, фотоелектричних, теплофізичних та фотолюмінесцентних властивостей, що дозволяє створювати нові типи напівпровідникових приладів, зокрема, фотоприймачі короткохвильової частини спектру. Метою даної роботи є подальше дослідження технологічних метод керування функціональними властивостями наноструктурованого кремнію із застосуванням нових складів щавників.