Назад
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ
Надвисоковакуумна комбінована установка для дослідження поверхні
Методи дослідження:
Основні елементи:
Техничні параметри:
Тиск залишкових газів у камері: 3×10-8 Па
Діапазон масових чисел: (1–350) а.е.м.
Мас-спектральний дозвіл: 1 М
Енергія первинних іонів: (1–10 ) кеВ
Діаметр іонного зонда: 10 мкм
Діаметр електронного пучка: 10 мкм
Енергія оже-електронів: 5–2000 еВ
Дозвіл по енергії: 1%
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ
Надвисоковакуумна комбінована установка для дослідження поверхні
Методи дослідження:
- мас-спектрометрія вторинних іонів
- електронна оже-спектроскопія
Основні елементи:
- дуоплазматрон з холодним катодом
- магнітний мас-сепаратор
- квадрупольний мас-аналізатор
- електронна гармата
- циліндричний дзеркальний аналізатор
- маніпулятор
- вакуумна система
Техничні параметри:
Тиск залишкових газів у камері: 3×10-8 Па
Діапазон масових чисел: (1–350) а.е.м.
Мас-спектральний дозвіл: 1 М
Енергія первинних іонів: (1–10 ) кеВ
Діаметр іонного зонда: 10 мкм
Діаметр електронного пучка: 10 мкм
Енергія оже-електронів: 5–2000 еВ
Дозвіл по енергії: 1%