Організаційна структура
ІНСТИТУТ МЕТАЛОФІЗИКИ НАНУ.
Назад

ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ


Надвисоковакуумна комбінована установка для дослідження поверхні

Методи дослідження:
  • мас-спектрометрія вторинних іонів
  • електронна оже-спектроскопія

Основні елементи:
  • дуоплазматрон з холодним катодом
  • магнітний мас-сепаратор
  • квадрупольний мас-аналізатор
  • електронна гармата
  • циліндричний дзеркальний аналізатор
  • маніпулятор
  • вакуумна система

Техничні параметри:

Тиск залишкових газів у камері: 3×10-8 Па
Діапазон масових чисел: (1–350) а.е.м.
Мас-спектральний дозвіл: 1 М
Енергія первинних іонів: (1–10 ) кеВ
Діаметр іонного зонда: 10 мкм
Діаметр електронного пучка: 10 мкм
Енергія оже-електронів: 5–2000 еВ
Дозвіл по енергії: 1%