Організаційна структура
ІНСТИТУТ МЕТАЛОФІЗИКИ НАНУ.
Назад

ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ


Надвисоковакуумна установка для аналізу твердих речовин методом вторинної іонної мас-спектрометрії

Основні елементи:
  • рідкометалеве джерело первинних іонів з робочою речовиною з Ga або In, мас-спектрометр МХ-7304А
  • маніпулятор, вакуумна система

Технічні параметри:

Діапазон масових чисел: (1–350) а.е.м
Енергія первинних іонів: (1–10) КеВ
Мас-спектральний дозвіл: 1 М (діапазон масових чисел 1–210 а.е.м.)
                                        0,5 М (діапазон масових чисел 4–350 а.е.м.)
Діаметр іонного пучка: 10 мкм