Організаційна структура
ІНСТИТУТ МЕТАЛОФІЗИКИ НАНУ.
Назад

ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ


Електронний спектрометр для аналізу поверхні

Методи дослідження:
  • дифракція повільних і швидких електронів      
  • спектроскопія розсіювання повільних іонів
  • електронна оже-спектроскопія
  • спектроскопія характеристичних втрат енергії електронів
  • спектроскопія порогових потенціалів

Основні елементи:
  • чотирьох-сітковий сферичний аналізатор з гальмуючим полем
  • електронна гармата нормального падіння
  • бічна електронна гармата
  • іонна гармата для очищення поверхні
  • вакуумна система

Технічні параметри:

Тиск залишкових газів у камері: 10-8 Па
Дозвіл по енергії: ΔЕ/Е0 = 0,5% при Е0< 500 еВ
                           ΔЕ/Е0 = 0,3% при Е0 > 500 еВ
Енергія первинних електронів: ( 5–2000 ) еВ
Струм первинних електронів: 50 мкА
Діаметр електронного пучка: 0,3 мм
Енергія іонів: ( 300–2000 ) еВ
Діаметр іонного пучка: 5 мм.