Назад
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ
Електронний спектрометр для аналізу поверхні
Методи дослідження:
Основні елементи:
Технічні параметри:
Тиск залишкових газів у камері: 10-8 Па
Дозвіл по енергії: ΔЕ/Е0 = 0,5% при Е0< 500 еВ
ΔЕ/Е0 = 0,3% при Е0 > 500 еВ
Енергія первинних електронів: ( 5–2000 ) еВ
Струм первинних електронів: 50 мкА
Діаметр електронного пучка: 0,3 мм
Енергія іонів: ( 300–2000 ) еВ
Діаметр іонного пучка: 5 мм.
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ
Електронний спектрометр для аналізу поверхні
Методи дослідження:
- дифракція повільних і швидких електронів
- спектроскопія розсіювання повільних іонів
- електронна оже-спектроскопія
- спектроскопія характеристичних втрат енергії електронів
- спектроскопія порогових потенціалів
Основні елементи:
- чотирьох-сітковий сферичний аналізатор з гальмуючим полем
- електронна гармата нормального падіння
- бічна електронна гармата
- іонна гармата для очищення поверхні
- вакуумна система
Технічні параметри:
Тиск залишкових газів у камері: 10-8 Па
Дозвіл по енергії: ΔЕ/Е0 = 0,5% при Е0< 500 еВ
ΔЕ/Е0 = 0,3% при Е0 > 500 еВ
Енергія первинних електронів: ( 5–2000 ) еВ
Струм первинних електронів: 50 мкА
Діаметр електронного пучка: 0,3 мм
Енергія іонів: ( 300–2000 ) еВ
Діаметр іонного пучка: 5 мм.