|
||||||||||||||||||||||||
Завантажити повну версію статті (в PDF форматі)
V. A. Odarych, L. V. Poperenko, I. V. Yurgelevych Виконано міряння еліпсометричних параметрів світла, відбитого від поверхні зразка поруватого кремнію, витриманого на відкритому повітрі протягом понад два роки. Одержані залежності еліпсометричних параметрів від кута падіння світла якісно описано двошаровим моделем поверхневої плівки товщиною приблизно у 140 нм. Зовнішній шар плівки має менший показник заломлення (приблизно 1,33 у видимій області спектра), ніж внутрішній (1,6), прилеглий безпосередньо до поруватого кремнію. Приведенням плівки в контакт з ізопропіловим спиртом показано, що плівка має у своїй товщі порожні пори нанометрових розмірів, здатні заповнюватися рідиною. В процесі проникнення спирту у пори змінюються показники заломлення шарів і, відповідно, кардинально змінюються криві еліпсометричних параметрів. Зокрема, виявлено, що особливо чутливим до присутности рідини в плівці є параметер tg?, який дорівнює відношенню коефіцієнтів відбивання ортогональних складових вектора поляризації, пов’язаних з площиною падіння світла на зразок, і може сягати великих значень внаслідок проникнення ізопропілового спирту в плівку. Виходячи із результатів аналізи одержаних експериментальних фактів, можна сподіватися на створення ефективних поляризаційних сенсорів і лінійних поляризаторів, що використовують поруватий кремній. Keywords: porous silicon, film, refractive index, ellipsometry, linear polarization
References
1. V. A. Odarych, O. I. Dacenco, M. S. Boltovec, O. V. Rudenko, and V. O. Pasichnyj, Proc. of SPIE, 3359: 59 (1998). https://doi.org/10.1117/12.306190 |
||||||||||||||||||||||||
|