Випуски

 / 

2014

 / 

том 12 / 

випуск 2

 



Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

О. И. Вьюнов, Л. Л. Коваленко, А. Г. Белоус, O. Bohnke, C. Bohnke
«Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением»
0303–0311 (2014)

PACS numbers: 68.37.Hk, 68.55.J-, 73.40.Mr, 81.15.Cd, 82.45.Gj, 82.45.Yz, 82.47.Aa

Описано конструкцію лабораторної установки для одержання нанорозмірних, аморфних плівок фосфор-оксинітриду літію (LiPON) методою високочастотного магнетронного напорошення. Кожен блок установки було модернізовано, щоб основні параметри напорошення (ВЧ-потужність, температура підложжя, час напорошення, тиск робочого газу) можна було реґулювати в широкому діяпазоні. Встановлено взаємозв’язок між режимами напорошення та мікроструктурою плівок LiPON. Встановлено, що одержані плівки LiPON характеризуються високою величиною йонної провідности за кімнатної температури (3,2?10-6 Ом-1?A<-1) та енергією активації у 0,27 еВ. Виготовлено композиційний твердий електроліт LIPON/LLTO/LIPON, який має високу хімічну стійкість при контакті з металевим літієвим анодом, високу йонну провідність і може бути використаний в електрохімічних пристроях.

©2003—2021 наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова Національної академії наук України.
Електрона пошта: tatar@imp.kiev.ua Телефони та адреса редакції про збірник Угода користувача