Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

С. А. Билоконь, М. А. Бондаренко, Ю. Ю. Бондаренко
«Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии»
0295–0302 (2014)

PACS numbers: 07.79.Lh, 62.20.Qp, 68.35.Np, 68.37.Ps, 68.47.Gh, 85.35.-p, 85.85.+j

Визначено адгезійну міцність тонких оксидних покриттів на діелектричних матеріялах (кремній Кр0, оптичне скло К8) із застосуванням методи атомно-силової мікроскопії з використанням багатопрохідного сканування зразка з поступовим втіленням зонда атомно-силового мікроскопа у досліджувану поверхню. Підібрано режим якісного визначення адгезійної міцности тонких покриттів шляхом підбору кроку втілення зонда в діяпазоні глибин 1–10 нм. Встановлено, що зі збільшенням товщини покриття його адгезійна міцність зменшується за експоненційним законом.