Випуски

 / 

2014

 / 

том 12 / 

випуск 2

 



Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

В. В. Васькевич, В. Е. Гайшун, Д. Л. Коваленко
«Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники»
0279–0293 (2014)

PACS numbers: 68.37.Ps, 68.55.J-, 78.30.-j, 81.15.Gh, 81.20.Fw, 81.65.Ps, 82.70.Gg

У роботі розглянуто можливість створення діелектричних SiO2-покриттів на основі золь–ґель-методи шляхом гідролізи металоорганічних сполук кремнію у водно-спиртовій суміші. Описано оптимальні параметри нанесення та термооброблення для одержання однорідних покриттів на поверхні монокристалічного кремнію. Виконано дослідження механічної стійкости до стирання як основного виду випробування покриттів на міцність і адгезію до поверхні підложжя. Методою ІЧ-спектроскопії вивчено фазові й структурні перетворення в процесі формування золь-ґель-плівок. Методою АСМ встановлено залежності стану й морфології поверхні покриттів від складу вихідного плівкоутворювального розчину та технологічних режимів одержання діелектричних плівок. Проаналізовано електрофізичні властивості сформованих МДП-структур залежно від складу плівкоутворювального розчину.

©2003—2021 наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова Національної академії наук України.
Електрона пошта: tatar@imp.kiev.ua Телефони та адреса редакції про збірник Угода користувача