Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова, В. В. Туров, Д. П. Савицкий
«Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике»
0269–0277 (2014)

PACS numbers: 66.20.Ej, 81.16.Dn, 81.65.Ps, 82.70.Kj, 83.50.Uv, 83.60.Pq, 83.80.Hj

У роботі досліджено поведінку реології композиційних суспензій на основі силікатного золю і нанорозмірних частинок діоксиду кремнію, які можуть бути використані на II-й стадії полірування пластин монокристалічного кремнію та інших напівпровідникових матеріялів. Наведено фізично обґрунтовані формули для опису ефективної в’язкости залежно від ступеня рівноважного руйнування і тиксотропного відновлення зв’язків структури в процесі плину композиційної суспензії. Формули порівнюються з результатами , одержаними експериментальним шляхом. Наведено дані про режими полірування та якість поверхні пластин монокристалічного кремнію після полірування з використанням композиційної суспензії.