Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

С. Ф. Дудник, Р. Л. Василенко, В. Н. Воеводин, В. И. Грицына, К. И. Кошевой, О. А. Опалев, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, В. Ф. Горбань
«Получение и свойства проводящих алмазных нанокристаллических покрытий»
0213–0224 (2014)

PACS numbers: 61.05.cf, 62.20.Qp, 62.23.Pq, 68.37.Hk, 73.61.Wp, 81.05.uj, 81.65.Lp

Наведено експериментальні результати щодо одержання у плазмі жеврійного розряду леґованих Нітроґеном електропровідних наноструктурних діямантових покриттів. Вивчено вплив умов синтези покриттів на їхні структуру та властивості. Визначено залежності швидкости росту покриттів і залежності величини питомого опору від параметрів синтези в широкому діяпазоні їхніх змін. Показано, що зміни електропровідности наноструктурних діямантових плівок при леґуванні їх Нітроґеном пов’язані, насамперед, зі змінами електропровідности міжзернових прошарків, а не зі зміною розмірів зерен діямантової фази.