Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

И. Д. Войтович, Т. С. Лебедева, П. Б. Шпилевой, Н. В. Беднов
«Покрытия из нанопористого анодного оксида алюминия для сенсорных применений»
0169–0180 (2014)

PACS numbers: 07.07.Df, 68.37.Hk, 68.55.at, 78.67.Rb, 81.16.Pr, 82.45.Cc, 87.85.fk

Описано розробку технології тонкоплівкових сенсорних покриттів з пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА), вирощеного на плівках алюмінію на скляних підложжях, яка включає контроль кривих відбивання хвилевідних сенсорних структур на металевому підшарі (ХСМП) ПАОА–Al в процесі анодного окиснення і розтравлення пор. Наведено результати моделювання оптичних характеристик ХСМП у процесі їх виготовляння. Представлено також результати досліджень одержаних нанопористих покриттів методом СЕМ і дані тестових імунохімічних досліджень на ХСМП ПАОА–Al. Описану розробку виконано для розвитку оптичних біосенсорів на ХСМП, але її може бути застосовано для створення нанопористих покриттів з ПАОА для інших видів високочутливих сенсорів.