Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

В. А. Білоус, О. С. Купрін, М. С. Ломіно, В. Д. Овчаренко,Г. М. Толмачова
«Вплив тиску азоту на механічні властивостіі термічну стабільність покриттів TiAlSiN,одержаних при вакуумно-дуговому осадженні»
0019–0025 (2012)

PACS numbers: 62.20.Qp, 62.23.St, 68.60.Bs, 68.60.Dv, 81.15.Ef, 81.15.Gh, 81.65.Lp

Вакуумно-дуговою методою в умовах фільтрації плазмового потоку осаджено покриття TiAlSiN з твердістю від 30 до 45 ГПa, залежно від тиску азоту. Досліджено елементний склад покриттів зі зміною параметрів процесу. Показано високу термостабільність одержаних конденсатів до 1000?С.