Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

А. О. Дружинін, С. І. Нічкало, Ю. Р. Когут, А. М. Вуйцик
«Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію»
0933–0940 (2011)

PACS numbers: 61.46.Hk, 68.37.Ps, 68.65.La, 68.70.+w, 81.07.Gf, 81.15.Gh, 85.40.Sz

Наведено результати експериментальних досліджень з вирощуван-ня ниткуватих нанокристалів (ННК) кремнію методою хемічного парового осадження (CVD) в закритій бромідній системі та відк-ритій проточній системі. У результаті одержано ННК кремнію з середнім діяметром ??100 нм. Показано, що поперечний розмір ННК прямо пропорційно залежить від товщини попередньо напорошеної плівки золота.