Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

А. А. Дружинин, И. П. Островский, Ю. Н. Ховерко, С. И. Ничкало
«Получение кремниевых нитевидных нанокристаллов»
0925–0932 (2011)

PACS numbers: 61.46.Hk, 68.37.Ps, 68.65.La, 68.70.+w, 81.07.Gf, 81.15.Gh, 85.40.Sz

Представлено результати серії експериментальних досліджень з вирощування ниткуватих нанокристалів (ННК) кремнію методою хемічного парового осадження у відкритій проточній системі за механізмом «пара–рідина–кристал» (ПРК). У результаті викона-них ростових експериментів одержано ННК кремнію з середнім ді-яметром ??100 нм. На основі методи кінетичного експерименту ви-конано моделювання аксіяльного і радіяльного росту ННК. Крім того, визначено наступні кінетичні параметри росту: ефективну перенасиченість у газовій фазі, кінетичний коефіцієнт криста-лізації та критичний діяметер. Показано, що кристали діяметром 50–70 нм ростуть за ПРК-механізмом, у той час як кристали більших діяметрів ростуть за двома механізмами — ПРК і ПК, що зумовлює утворення більш виражених гетероструктур із внутріш-нім ядром та зовнішньою пористою оболонкою.