Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

В. Брык, Р. Василенко, В. Н. Воеводин, А. Гончаров, Т. Григорова, А. Гугля, В. Колобродов, М. Литвиненко, И. Марченко, Е. Мельникова, И. Сасса, Ю. Никитенко*, Ю. Хайдуков*, В. Волков**, G. Chaboussant***
«Микропористые нанокристаллические тонкие плёнки V–N–He. Способ получения, структура, свойства.»
0175–0188 (2011)

PACS numbers: 61.43.Gt, 61.80.Jh, 68.37.Hk, 68.43.Mn, 68.55.Ln, 81.15.Jj, 82.80.Yc

У роботі вивчено основні закономірності формування тонких плівок V–N–He, осаджених в умовах бомбардування жмутами високоенергетичних йонів азоту та гелію. Було досліджено структурно-фазові, електрофізичні та адсорбційні характеристики. За допомогою електронної мікроскопії доведено, що структура плівок V–N–He формується в умовах конкурування кількох одночасних процесів, які призводять до створення нанокристалічної структури, яка містить у собі мікропори розміром від 5 нм до 5 мкм. Обговорюється роль йон-ного бомбардування та адсорбції газу з залишкової атмосфери у формуванні пористости. Порівняння даних Резерфордового зворотнього розсіяння та профілометрії дозволило обчислити величину пористости плівок — 27%. У діяпазоні дослідженого тиску водню (до 0,35 МПа) було адсорбовано 7 ваг.% H2. Показано, що кількість водню, яка адсорбується, визначається мікропористою структурою плівки та складом газового середовища в ній.