Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

А. В. Борисов, А. Н. Шмырева, Н. В. Максимчук
«Нанокристаллические пленки оксида церия для биолюминесцентных сенсорных систем »
0245–0254 (2009)

PACS numbers: 68.37.Ps, 73.50.Pz, 81.05.Je, 81.07.Bc, 81.15.Ef, 85.60.Gz, 87.80.-y

Досліджено властивості нанокристалічних плівок оксиду церію, встановлено основні закономірності їхнього формування в залежності від технологічних режимів вакуумного нанесення методою вибухового випаровування і типу підложжя з метою створення високочутливих фотоприймачів. Морфологія поверхні плівок СеОх досліджувалася методою атомово-силової мікроскопії, а електронна структура плівок — методою Рентґенової фотоелектронної спектроскопії. На фотоелектронному спектрі спостерігаються максимуми три- та чотировалентного Се. Показано, що найбільшу фоточутливість у спектральному діяпазоні 380–450 нм мають нанокристалічні плівки зі структурою Sі/SіО2/CeOx, осаджені за температури 200?С, та плівки зі структурою Sі/Sі3N4/CeOx з температурами осадження 200?С і 300?С. Мінімальний температурний коефіцієнт опору в області робочих температур спостерігався у плівок, нанесених на підложжя з SіО2 за температури 200?С, — 0,36%/град.