Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

С. П. Новосядлий, В. М. Бережанський
«Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС »
0073–0120 (2009)

PACS numbers: 61.72.U-, 61.80.Jh, 73.40.Qv, 85.30.Pq, 85.40.Qx, 85.40.Ry, 85.40.Sz

При взаємодії корпускулярного і електромагнетного випромінення з твердим тілом (структурою ІС) відбувається пересилання енергії останньому, в результаті чого змінюються його властивості. Характер взаємодії і ефекти, що при цьому виявляються, в загальному випадку визначаються видом випромінення, його енергією та інтенсивністю, видом структур ІС, які при цьому опромінюються. Дані радіяційні дослідження можуть лягти в основу побудови радіяційно-тривкої технології для формування як біполярних, так і польових структур ІС. Детально проаналізовано радіяційні ефекти в структурах із субмікронними глибинами залягання p–n-переходів та з ізопланарною діелектричною ізоляцією.