Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Г. И. Клето, Я. В. Мартынюк, А. И. Савчук, В. Н. Стребежев, Ю. К. Обедзинский
«Наноразмерные сегнетоэлектрические пленки для интегральных запоминающих элементов »
0065–0071 (2009)

PACS numbers: 68.55.J-, 77.84.Dy, 81.05.Je, 81.15.Cd, 82.45.Fk, 85.40.Sz, 85.50.Gk

Сеґнетоелектричні плівки цирконату-титанату олива (ЦТС) товщиною 100–120 нм одержано методою ВЧ-катодного розпорошення п’єзоелектричної кераміки ЦТС-19 на стандартних кремнійових пластинах, попередньо покритих провідними шарами Sno2 і Y0,5Sr0,5CoO3. Методою растрової електронної мікроскопії вивчався вплив електродного підшару на структуру вакуумного конденсату. Форма петель діелектричної гістерези свідчить про наявність механічних напруг у зразках з використанням SnO2. Показано, що число циклів перемикання електричної поляризації на тестових зразках у вигляді конденсаторів збільшується в структурах з оксидною електродою Y0,5Sr0,5CoO3, що пояснюється зниженням механічної напруги на межі електрода–плівка.