Випуски

 / 

2008

 / 

том 6 / 

випуск 3

 



Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

А. В. Костановский, Л. А. Жиляков, А. А. Пронкин, А. В. Кириллин
«Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени »
0911–0917 (2008)

PACS numbers: 61.46.Bc, 61.48.De, 61.80.Ba, 73.61.Wp, 78.30.Na, 81.05.Uw, 81.15.Cd

Представлено методику одержання алмазоподібних плівок (АПП) методою магнетронного розпорошення графітової цілі. З метою активації процесу утворення АПП використовували випромінення нагрітої нитки з тяжкотопкого металу, розташованої біля підложжя. Наведено результати з оптимізації параметрів процесу нанесення тонких плівок. Метода Раманової спектроскопії показала, що спектер ідентифікує плівки як АПП. Товщина плівок — 2000 ?, швидкість осадження — 200 ?/хв. Плівки є оптично прозорими, а їх електропровідність відповідає напівпровідникам.

©2003—2021 наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова Національної академії наук України.
Електрона пошта: tatar@imp.kiev.ua Телефони та адреса редакції про збірник Угода користувача