Скачать полную версию статьи (в PDF формате)
А. В. Костановский, Л. А. Жиляков, А. А. Пронкин, А. В. Кириллин
«Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
»
0911–0917 (2008)
PACS numbers: 61.46.Bc, 61.48.De, 61.80.Ba, 73.61.Wp, 78.30.Na, 81.05.Uw, 81.15.Cd
Представлено методику одержання алмазоподібних плівок (АПП) методою магнетронного розпорошення графітової цілі. З метою активації процесу утворення АПП використовували випромінення нагрітої нитки з тяжкотопкого металу, розташованої біля підложжя. Наведено результати з оптимізації параметрів процесу нанесення тонких плівок. Метода Раманової спектроскопії показала, що спектер ідентифікує плівки як АПП. Товщина плівок — 2000 ?, швидкість осадження — 200 ?/хв. Плівки є оптично прозорими, а їх електропровідність відповідає напівпровідникам.
|