Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

О. С. ЛИТВИН, П. М. ЛИТВИН, І. В. ПРОКОПЕНКО, Т. І. ШЕРЕМЕТА
«Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії»
0033–0044 (2008)

PACS numbers: 07.79.Lh, 61.46.-w, 68.37.Ps, 68.65.-k, 81.07.-b, 81.16.Ta, 82.37.Gk

На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії (АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної реконструкції зображень поверхні та її оптимізації. Показано, що комплексне застосування ріжних способів мінімізації спотворень геометричних розмірів наноструктурних елементів поверхонь, які виникають внаслідок скінченности розмірів вістря зонду, забезпечує одержання адекватних топометричних даних.