 |
|||||||||
 |
2018, том 16, выпуск 1 |
|
|||||||
|
|||||||||
Выпуски/2018/том 16 /выпуск 1 |
Скачать полную версию статьи (в PDF формате)
O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, I. I. Medvid, Zh. Ya. Tsapovska, and D. S. Leonov
«Photoelectric Properties of Thin \(\beta-Ga_2O_3\) Films»
0167–0174 (2018)
PACS numbers: 68.37.Ps, 68.55.J-, 73.50.Pz, 78.55.Hx, 78.56.-a, 78.60.-b, 81.15.-z
Исследована структура, фазовый состав и морфология поверхности тонких плёнок \(\beta-Ga_2O_3\), полученных методом высокочастотного ионно-плазменного распыления. Выявлены наличие собственной фотопроводимости и её особенности в зависимости от условий получения плёнок. Проведён анализ спектрального смещения максимума полосы возбуждения фотопроводимости в зависимости от наличия термообработки плёнок.
Keywords: gallium oxide, thin films, crystallite, photoconductivity
References
1. J.-G. Zhao, Z.-X. Zhang, Z.-W. Ma, H.-G. Duan, X.-S. Guo, and E.-Q. Xie, Chinese Phys. Lett., 25, No. 10: 3787 (2008).2. K. Shimamura, E. G. V llora, T. Ujiie, and K. Aoki, Appl. Phys. Lett., 92, No. 20: 201914 (2008). https://doi.org/10.1063/1.2910768
3. P. Wellenius, A. Suresh, J. V. Foreman, H. O. Everitt, and J. F. Muth, Mater. Sci. Eng. B, 146, Nos. 1-3: 252 (2008). https://doi.org/10.1016/j.mseb.2007.07.060
4. T. Miyata, T. Nakatani, and T. Minami, Thin Sol. Films, 373: 145 (2000). https://doi.org/10.1016/S0040-6090(00)01123-8
5. Z. Ji, J. Du, J. Fan, and W. Wang, Opt. Materials, 28, No. 4: 415 (2006). https://doi.org/10.1016/j.optmat.2005.03.006
6. Y. Nakano and T. Jimbo, Appl. Phys. Lett., 82, No. 2: 218 (2003). https://doi.org/10.1063/1.1536029
7. S.-A. Lee, S.-Y. Jeong, J.-Y. Hwang, J.-P. Kim, M.-G. Ha, and C.-R. Cho, Integr. Ferroelectr., 74, No. 1: 173 (2005). https://doi.org/10.1080/10584580500414192
8. V. M. Kalygina, A. N. Zarubin, V. A. Novikov, Yu. S. Petrova, O. P. Tolbanov, A. V. Tyazhev, S. Yu. Tsupiy, and T. M. Yaskevich, Fiz. Tekhn. Poluprovodnikov, 47, No. 5: 598 (2013) (in Russian). https://doi.org/10.1134/S1063782613050126
9. Y. Kokubun, K. Miura, F. Endo, and S. Nakagomi, Appl. Phys. Lett., 90, No. 3: 031912 (2007). https://doi.org/10.1063/1.2432946
10. J. Hao and M. Cocivera, J. Phys. D: Appl. Phys., 35, No. 5: 433 (2002). https://doi.org/10.1088/0022-3727/35/5/304
11. Y. Wei, Y. Jinliang, W. Jiangyan, Z. Liying, J. Semicond., 33, No. 7: 073003 (2012). https://doi.org/10.1088/1674-4926/33/7/073003
12. E. V. Berlin and L. A. Seidman, Ionno-Plazmennyye Protsessy v Tonkoplenochnoy Tekhnologii (Moscow: Tekhnosfera: 2010) (in Russian).
13. O. M. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, B. O. Bordun, and V. B. Lushchanets, J. Appl. Spectrosc., 81, No. 5: 771 (2014). https://doi.org/10.1007/s10812-014-0004-9
14. S. J. Pearton, J. Yang, P. H. Cary IV, F. Ren, J. Kim, M. J. Tadjer, and M. A. Mastro, Appl. Phys. Rev., 5, No. 1: 011301 (2018). https://doi.org/10.1063/1.5006941
15. I. B. Vendik, A. N. Ermolenko, V. V. Esipov, B. M. Pchelkin, and M. F. Sitnikova, Zhurn. Tekhn. Fiz., 58, No. 12: 2323 (1988) (in Russian).
16. W. Sinkler, L. D. Marks, D. D. Edwards, T. O. Mason, K. R. Poeppelmeier, Z. Hu, and J. D. Jorgensen, J. Solid State Chem., 136, No. 1: 145 (1998). https://doi.org/10.1006/jssc.1998.7804
17. V. I. Vasyltsiv, Ya. I. Rym, and Ya. M. Zakharko, phys. status solidi (b), 195, No. 2: 653 (1996). https://doi.org/10.1002/pssb.2221950232
18. V. V. Tokiy, V. I. Timchenko, and V. A. Soroka, Fiz. Tverd. Tela, 45, No. 4: 600 (2003) (in Russian). https://doi.org/10.1134/1.1568996
19. T. V. Blank and Yu. A. Gol'dberg, Fiz. Tekhn. Poluprovodnikov, 41, No. 11: 1281 (2007) (in Russian).
20. O. M. Bordun, V. G. Bihday, and I. Yo. Kukharskyy, J. Appl. Spectrosc., 80, No. 5: 721 (2013). https://doi.org/10.1007/s10812-013-9832-2
21. O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, and I. I. Medvid, J. Appl. Spectrosc, 84, No. 1: 46 (2017). https://doi.org/10.1007/s10812-017-0425-3
22. S. K. Sampath and J. F. Cordaro, J. Am. Ceram. Soc., 81, No. 3: 649 (1998). https://doi.org/10.1111/j.1151-2916.1998.tb02385.x
23. F. Litimein, D. Rached, R. Khenata, and H. Baltache, J. Alloys Comp., 488, No. 1: 148 (2009). https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2009.08.092
24. M. Michling and D. Schmei er, IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng., 34: 012002 (2012). https://doi.org/10.1088/1757-899X/34/1/012002
25. H. H. Tippins, Phys. Rev., 140, No. 1A: A316 (1965). https://doi.org/10.1103/PhysRev.140.A316
 Все статьи доступны по Лицензии Creative Commons “Attribution-NoDerivatives” («атрибуция — без производных статей») 4.0 Всемирная ©2003—2021 НАНОСИСТЕМЫ, НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии наук Украины. Электронная почта: tatar@imp.kiev.ua Телефоны и адрес редакции О сборнике Пользовательское соглашение |