Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

М. Ю. Бобик, Є. І. Боркач, В. П. Іваницький, В. І. Сабов
«Теорія формування контрасту електронно-мікроскопічних зображень аморфних речовин складного хемічного складу»
0423–0436 (2012)

PACS numbers: 07.78.+s, 07.79.-v, 61.05.J-, 61.43.Er, 68.37.Lp, 87.64.Bx, 87.64.Ee

Разработана теория формирования электронно-микроскопических изображений аморфных материалов и наносистем сложного химического состава с учётом как амплитудного, так и дифракционного вклада в контраст. Показано, что за формирование контраста электронно-микроскопических изображений таких объектов отвечают три составляющих рассеяния электронов в пределах апертурной диафрагмы объективной линзы: упругое некогерентное, упругое когерентное и неупругий фон. Вариации интенсивности электронно-микроскопических изображений за счёт упругого некогерентного рассеяния определяются распределением атомной плотности, изменениями химического состава и отклонениями геометрической толщины локальных участков исследуемого образца. Вклад упругого когерентного рассеяния в контраст изображений обусловливается отличиями структурных факторов разных локальных участков, а вклад неупругого фона — отличиями интенсивности такого фона.