Назад

---

ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ


Надвисоковакуумна установка Varian 240 LEED/Auger

Методи дослідження:

• електронна оже-спектроскопія
• дифракція повільних електронів

Основні елементи:

• електронна гармата
• чотирьох-сітковий сферичний аналізатор з гальмуючим полем
• циліндричний дзеркальний аналізатор
• іонна гармата
• маніпулятор
• відеопозіціонер зразка
• вакуумна система

Технічні параметри:

Тиск залишкових газів у камері: 5×10^-8 Па
Діаметр первинного електронного пучка: 25 мкм
Енергія електронів: 3 кеВ
Дозвіл по енергії: 0,5%
Енергія іонів: (0,6–5) кеВ
Щільність іонного струму: 5 мкА/см²