Назад
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ
Мас-спектрометр МС-7202М
Методи дослідження:
Основні елементи:
Технічні параметри:
Тиск залишкових газів у камері: 1×10-6 Па
Енергія первинних іонів: (1–10) кеВ
Діаметр первинного іонного пучка: ~ 3 мм (джерело Пенінга)
15 мкм (дуоплазматрон)
Діапазон масових чисел: (1–250) а.е.м. в робочому режимі
(1–500) а.е.м. в оглядовому режимі
Мас-спектральний дозвіл: 1 М
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ
Мас-спектрометр МС-7202М
Методи дослідження:
- мас-спектрометрія вторинних іонів
Основні елементи:
- джерело Пенінга з холодним катодом
- дуоплазматрон з холодним катодом
- монопольний мас-аналізатор
- шлюзовий пристрій
- маніпулятор
- вакуумна система
Технічні параметри:
Тиск залишкових газів у камері: 1×10-6 Па
Енергія первинних іонів: (1–10) кеВ
Діаметр первинного іонного пучка: ~ 3 мм (джерело Пенінга)
15 мкм (дуоплазматрон)
Діапазон масових чисел: (1–250) а.е.м. в робочому режимі
(1–500) а.е.м. в оглядовому режимі
Мас-спектральний дозвіл: 1 М