Організаційна структура
ІНСТИТУТ МЕТАЛОФІЗИКИ НАНУ.
Назад

ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ


Мас-спектрометр МС-7202М

Методи дослідження:
  • мас-спектрометрія вторинних іонів

Основні елементи:
  • джерело Пенінга з холодним катодом
  • дуоплазматрон з холодним катодом
  • монопольний мас-аналізатор
  • шлюзовий пристрій
  • маніпулятор
  • вакуумна система

Технічні параметри:

Тиск залишкових газів у камері: 1×10-6 Па
Енергія первинних іонів: (1–10) кеВ
Діаметр первинного іонного пучка:  ~ 3 мм (джерело Пенінга) 
                                                         15 мкм (дуоплазматрон)
Діапазон масових чисел: (1–250) а.е.м. в робочому режимі
                                       (1–500) а.е.м. в оглядовому режимі
Мас-спектральний дозвіл: 1 М