Назад

---

ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ


Надвисоковакуумна комбінована установка для дослідження поверхні

Методи дослідження:

• мас-спектрометрія вторинних іонів
• електронна оже-спектроскопія

Основні елементи:

• дуоплазматрон з холодним катодом
• магнітний мас-сепаратор
• квадрупольний мас-аналізатор
• електронна гармата
• циліндричний дзеркальний аналізатор
• маніпулятор
• вакуумна система

Техничні параметри:

Тиск залишкових газів у камері: 3×10^-8 Па
Діапазон масових чисел: (1–350) а.е.м.
Мас-спектральний дозвіл: 1 М
Енергія первинних іонів: (1–10 ) кеВ
Діаметр іонного зонда: 10 мкм
Діаметр електронного пучка: 10 мкм
Енергія оже-електронів: 5–2000 еВ
Дозвіл по енергії: 1%