Організаційна структура
ІНСТИТУТ МЕТАЛОФІЗИКИ НАНУ.
Назад

ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ


Мас-спектрометричний автоматизований комплекс для газового аналізу у відкритих і закритих об'ємах (МСК)

Методи дослідження:
  • мас-спектрометрія залишкових газів

Основні елементи:
  • монопольний мас-спектрометр
  • система забору проби           
  • вакуумна система
  • система автоматизації

Технічні параметри: 

Тиск залишкових газів у камері: 5×10-7 Па
Енергія первинних іонів: 1–10 КеВ
Діапазон масових чисел: (1–220 ) а.е.м
Чутливість по аргону: 7×10-2 А/Па
Мас-спектральний дозвіл: 2 М