Назад
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ
Мас-спектрометричний автоматизований комплекс для газового аналізу у відкритих і закритих об'ємах (МСК)
Методи дослідження:
Основні елементи:
Технічні параметри:
Тиск залишкових газів у камері: 5×10-7 Па
Енергія первинних іонів: 1–10 КеВ
Діапазон масових чисел: (1–220 ) а.е.м
Чутливість по аргону: 7×10-2 А/Па
Мас-спектральний дозвіл: 2 М
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ
Мас-спектрометричний автоматизований комплекс для газового аналізу у відкритих і закритих об'ємах (МСК)
Методи дослідження:
- мас-спектрометрія залишкових газів
Основні елементи:
- монопольний мас-спектрометр
- система забору проби
- вакуумна система
- система автоматизації
Технічні параметри:
Тиск залишкових газів у камері: 5×10-7 Па
Енергія первинних іонів: 1–10 КеВ
Діапазон масових чисел: (1–220 ) а.е.м
Чутливість по аргону: 7×10-2 А/Па
Мас-спектральний дозвіл: 2 М