Назад

---

ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ОБЛАДНАННЯ


Електронний спектрометр для аналізу поверхні

Методи дослідження:

• дифракція повільних і швидких електронів      
• спектроскопія розсіювання повільних іонів
• електронна оже-спектроскопія
• спектроскопія характеристичних втрат енергії електронів
• спектроскопія порогових потенціалів

Основні елементи:

• чотирьох-сітковий сферичний аналізатор з гальмуючим полем
• електронна гармата нормального падіння
• бічна електронна гармата
• іонна гармата для очищення поверхні
• вакуумна система

Технічні параметри:

Тиск залишкових газів у камері: 10^-8 Па
Дозвіл по енергії: ΔЕ/Е₀ = 0,5% при Е₀< 500 еВ
                           ΔЕ/Е₀ = 0,3% при Е₀ > 500 еВ
Енергія первинних електронів: ( 5–2000 ) еВ
Струм первинних електронів: 50 мкА
Діаметр електронного пучка: 0,3 мм
Енергія іонів: ( 300–2000 ) еВ
Діаметр іонного пучка: 5 мм.