Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

В. А. Артемюк, Л. І. Карбівська, Л. П. Клюєнко, В. Л. Карбівський
«Синтеза та властивості моно- та багатошарових плівок Ni при їх термічному одержанні»
0375–0385 (2016)

PACS numbers: 68.37.Ef, 68.35.B-, 68.35.Ct, 68.55.jd, 81.15.Ef, 81.16.Dn, 81.16.Rf

Исследован механизм формирования нанорельефа никеля на поверхности Si(111) при термическом испарении его в вакууме. Картина нанорельефа поверхности после нанесения была исследована на каждой стадии трансформации. Установлено, что нанообразования имеют близкую к сферической форму и образуют кластеры, состоящие примерно из 5–10 наночастиц никеля. Полученные в работе монослойные структуры никеля удовлетворительно описываются в рамках модели электронного выращивания. Установлены параметры субшероховатости Ra, Rq, Rzjis, Rz, Sratio для трансформированных поверхностей и их зависимости от технологических параметров нанесения. Показано, что имеет место рост размера кластеров при общем сохранении тенденции роста максимальной разницы между выступами и впадинами по десяти точкам для двух последних нанесений, поскольку при напылении в течение 1 с имеет место только частичное осаждение никеля на монокристалл кремния. Установлено сильное взаимодействие монослойных покрытий Ni с подложкой. После значительного прогрева поверхности наблюдается почти полная десорбция никеля и образование незначительного количества промежуточной фазы NiSi2.