Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Л. С. Осипов, Д. Ю. Полоцкий, С. А. Беспалов, М. С. Сницар, В. И. Невмержицкий
«Ионно-плазменное нанесение наноструктурированных многокомпонентных покрытий на термолабильные материалы»
0073–0080 (2014)

PACS numbers: 52.80.Pi, 68.35.Ct, 68.37.Ef, 68.37.Ps, 81.15.Gh, 82.80.Ms, 85.40.Sz

Исследованы состав и структура многокомпонентных плёнок, сформированных с помощью вакуумно-дугового источника с локализацией разряда вблизи рабочей поверхности катода, изготовленного из стандартных сплавов. При нанесении в прямом потоке в плёнках сохраняется табличный состав, плотность, электропроводность и другие физико-технические характеристики материала катода.