Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Н. И. Ходаковский, С. Ю. Ларкин, Г. Г. Галстян*
«Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии »
0535–0542 (2011)

PACS numbers: 07.79.-v, 68.37.-d, 81.16.Rf, 81.16.Ta, 85.35.-p

В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектрон-ных приборов и их диагностики с использованием электростати-ческой силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения инфор-мативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур.