Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Д. В. Соловей, Г. Г. Горох, В. Н. Сахарук
«Полевые эмиссионные катоды на основе пористого анодного оксида алюминия и углеродных нанотрубок.»
0143–0156 (2011)

PACS numbers: 85.45.Db, 82.45.Cc, 85.35.Kt, 85.45.Fd, 68.65.Pq

Разработан технологический процесс формирования массивов по-левых эмиссионных катодов с заданными диаметрами и шагом рас-положения на основе пористых матриц анодного оксида алюминия и углеродных нанотрубок. Форма полевых эмиссионных катодов за-давалась с помощью фотолитографии, выполненной по поверхности анодного оксида алюминия, и представляла собой набор колонн цилиндрической формы с диаметрами от 10 до 50 мкм, расположен-ных с шагом 100 и 160 мкм и имеющих высоту 2 мкм. При синтезе углеродные нанотрубки располагались в порах и на поверхности областей из оксида алюминия при этом нанотрубки находившиеся на поверхности пористого оксида имели многостенную структуру, а нанотрубки, расположенные непосредственно в порах, исполь-зовали для своего образования элементы, входящие в состав ок-сида, вероятно с получением карбидных соединений. Исследова-ния автоэмиссионных свойств показали, что эмиссия электронов из полученных структур равномерна по поверхности массивов, протекает в соответствии с теорией Фаулера–Нордгейма, а раз-работанная конструкция позволяет полностью устранить эффект экранирования, вызванного близким расположением нанотрубок, синтезированных в пористой матрице оксида алюминия.